Nikon stellt »NEXIV VMF-K«-Serie für präzise Halbleitermessung vor
Kameras
Mit der »NEXIV VMF-K-Serie« bringt Nikon ein neues Videomesssystem auf den Markt, das speziell auf die Anforderungen der Halbleiter- und Komponentenfertigung zugeschnitten ist. Dank höherem Messdurchsatz, konfokaler Optik und langlebiger LED-Technologie eignet sich die Serie ideal für präzise Qualitätskontrollen bei wachsender Miniaturisierung.
(Bild: Nikon)
Die Nikon Corporation hat mit der neuen »NEXIV VMF-K«-Serie ein Videomesssystem entwickelt, das gezielt auf die Herausforderungen der Halbleiter- und Elektronikfertigung reagiert. Die Serie adressiert insbesondere die zunehmende Miniaturisierung und Funktionsdichte moderner Bauteile – Faktoren, die präzise und schnelle Inspektionslösungen unerlässlich machen.
Die »VMF-K«-Serie umfasst die Modelle VMF-K3040 und VMF-K6555, welche die bisherigen VMZ-K-Modelle ablösen. Laut Nikon erreicht die neue Serie unter Standard-Messbedingungen einen 1,5-fach höheren Messdurchsatz als ihr Vorgänger. Das verkürzt die Messzeit deutlich und verbessert die Effizienz in der Produktion.
Konfokales optisches System
Technologisch setzt Nikon auf ein konfokales optisches System, das 2D- und Höhenmessungen gleichzeitig innerhalb des Sichtfelds ermöglicht. Dadurch lassen sich insbesondere komplexe Strukturen schneller erfassen als mit herkömmlicher Hellfeld-Höhenmessung. Zusätzlich wurde die Lichtquelle überarbeitet: Statt einer Xenonlampe kommt nun eine langlebige LED zum Einsatz, deren Lebensdauer mit 30.000 Stunden etwa zehnmal so hoch liegt. Das senkt Wartungsaufwand und Betriebskosten.
Ein weiterer Pluspunkt ist die neue Modellvariante mit 45-fach-Vergrößerung, die noch genauere Ergebnisse bei anspruchsvollen Anwendungen liefert. Auch in puncto Sicherheit erfüllt die Serie die SEMI S2/S8-Richtlinien für Halbleiterfertigungsanlagen – sofern korrekt installiert. Hinzu kommt eine praktische Softwarefunktion, mit der sich die verbleibende Messzeit während des Betriebs anzeigen lässt.
Neben der Funktionalität wurde auch das äußere Erscheinungsbild überarbeitet: Das moderne Design in Schwarz und Silber orientiert sich am industriellen Einsatzumfeld.
Nikon betont den Nutzen für eine Vielzahl von Branchen, darunter Advanced Packaging, Substrat- und Wafer-Inspektion sowie Probecard-Prüfungen. Mit »NEXIV VMF-K« zielt das Unternehmen darauf ab, Kunden bei der Verbesserung ihrer Qualitätskontrollprozesse zu unterstützen – ein entscheidender Aspekt in einer Zeit, in der Fertigungstoleranzen immer enger werden.
Die Vermarktung in Europa erfolgt über Nikon Metrology Europe mit Sitz in Leuven. Ansprechpartnerin für den europäischen Markt ist Leonie Hofmann, Head of European Marketing.
