Messen und Prüfen in Reinräumen

Artikel vom 29. August 2021
Zertifizierung und Auditierung

Die Richtlinienreihe VDI 2083 bietet Informationen zu den Maßnahmen für Reinraumtechnik. Bild: Norbert Otto/c-tec

 

Die Richtlinie VDI 2083 Blatt 3 beschreibt Messverfahren für Reinräume und zugehörige Bereiche. Diese Verfahren werden bei der Qualifizierung von Neuanlagen, der Routinekontrolle und der laufenden Überwachung eingesetzt. Von der Halbleiterfertigung über Forschungslabore bis hin zu medizinischen Anwendungen besteht der Bedarf an Räumen mit kontrollierter Reinheit. Die Partikelkonzentrationen in der Luft, am Arbeitsplatz und in den Prozessmedien müssen immer wieder gemessen werden, um die fortdauernde Reinheit des Raums zu gewährleisten.

Die Methoden sind speziell auf die Erfordernisse von Reinräumen ausgerichtet. VDI 2083 Blatt 3 gilt für erstmalige oder einmalige Messungen sowie die fortlaufende und periodische Überwachung. Die spezifizierten Methoden sind für die Übergabe von reinraumtechnischen Anlagen sowie für die Durchführung von Routine- und Überwachungsmessungen nach DIN EN 12599, VDI 2083 Blatt 2 und DIN EN ISO 14644-4 vorgesehen. Sie sollen anwenderspezifische Verfahren ersetzen. Die Richtlinie gilt für Partikel mit einer Größe ab 100 Nanomillimetern.

Die Richtlinie enthält konkrete Hinweise zum Ablauf der Messungen, angefangen bei der Sichtprüfung über Methoden wie Filterleckprüfung, Bestimmen der Druckdifferenz und Klassifizierungen sowie Einordnungen. Art und Umfang der Dokumentation werden erläutert und Mindestanforderungen an das Messprotokoll definiert.

Die Richtlinienreihe VDI 2083 bietet alle nötigen Informationen zu den Aufgaben und Maßnahmen der Reinraumtechnik. Sie richtet sich speziell an Personen, die für die Messung und Qualitätswahrung in Reinräumen verantwortlich sind. Die Reihe bietet die nötigen Daten für die Auswahl von Methoden und Parametern und gibt auch Hinweise für etwaige Abweichungen, die zulässig oder notwendig sein können.

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